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  1. 1
    Inertial MEMS: principles and practice
    par Kempe, Volker; Author
    Publié 2011
    Printed Book
  2. 2
    Fundamentals of microfabrication and nanotechnology: from MEMS to Bio-MEMS and Bio-NEMS-manufacturing techniques and applications/
    par Madou, Marc J.
    Publié 2012
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    Printed Book
  3. 3
    Fundamentals of microfabrication and nanotechnology /
    par Madou, Marc J.
    Publié 2012
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    Printed Book
  4. 4
    MEMS and nanotechnology for gas sensors /
    Printed Book
  5. 5
    Micro electro mechanical system design /
    par Allen, James J.
    Publié 2005
    Publisher description
    Printed Book
  6. 6
    Introductory MEMS : fabrication and applications /
    par Adams, Thomas M.
    Publié 2010
    Printed Book
  7. 7
    Principles and applications of NanoMEMS physics /
    par Santos, Héctor J. de los
    Publié 2005
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    Printed Book
  8. 8
    MEMS and nanotechnology-based sensors and devices for communications, medical and aerospace applications /
    par Jha, A. R.
    Publié 2008
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    Printed Book
  9. 9
    Photonic microsystems : micro and nanotechnology applied to optical devices and systems /
    Printed Book
  10. 10
    VLSI micro- and nanophotonics : science, technology, and applications /
    Publié 2010
    Printed Book
  11. 11
    Microsystems and nanotechnology /
    Publié 2012
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    Printed Book
  12. 12
    BioNanoFluidic MEMS /
    Publié 2008
    Printed Book
  13. 13
    Modeling and control for micro/nano devices and systems /
    Publié 2014
    Printed Book
  14. 14
    Micro electro mechanical system design /
    par Allen, James J.
    Publié 2005
    Publisher description
    Printed Book
  15. 15
    Optical inspection of microsystems /
    Publié 2007
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    Printed Book
  16. 16
    Reliability of MEMS /
    Publié 2008
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    Printed Book
  17. 17
    MEMS/MOEMS packaging : concepts, designs, materials, and processes /
    par Gilleo, Ken
    Publié 2005
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    Printed Book
  18. 18
    MEMS and microsystems : design, manufacture, and nanoscale engineering /
    par Hsu, Tai-Ran
    Publié 2008
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    Printed Book
  19. 19
    Photonic MEMS devices : design, fabrication and control /
    par Liu, Ai-Qun
    Publié 2009
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    Printed Book
  20. 20
    Optical microresonators : theory, fabrication, and applications /
    par Heebner, John E.
    Publié 2008
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    Printed Book
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