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    Fundamentals of microfabrication and nanotechnology: from MEMS to Bio-MEMS and Bio-NEMS-manufacturing techniques and applications/
    von Madou, Marc J.
    Veröffentlicht 2012
    Volltext
    Printed Book
  2. 2
    Fundamentals of microfabrication and nanotechnology /
    von Madou, Marc J.
    Veröffentlicht 2012
    Volltext
    Printed Book
  3. 3
    Fundamentals of microfabrication and nanotechnology
    von Madou, Marc J
    Veröffentlicht 2012
    Printed Book
  4. 4
    FUNDAMENTALS OF MICROFABRICATION AND NANOTECHNOLOGY V.1
    von MADOU MARC J
    Veröffentlicht 2012
    Printed Book
  5. 5
    FUNDAMENTALS OF MICROFABRICATION AND NANOTECHNOLOGY V.2
    von MADOU MARC J
    Veröffentlicht 2012
    Printed Book
  6. 6
    FUNDAMENTALS OF MICROFABRICATION AND NANOTECHNOLOGY V.3
    von MADOU MARC J
    Veröffentlicht 2012
    Printed Book
  7. 7
    Fundamentals of Microfabrication and nanotechnology:Solid-state physics,fluidics, and analytical techniques in micro and nanotechnology, Volume1
    von Madou,MarcJ
    Veröffentlicht 2012
    Printed Book
  8. 8
    Fundamentals of Microfabrication and nanotechnology:Manufacturing techniques for microfabrication and nanotechnology, Volume2
    von Madou,MarcJ
    Veröffentlicht 2012
    Printed Book
  9. 9
    Fundamentals of Microfabrication and nanotechnology:From MEMS to Bio-MEMS and Bio-NEMS, Volume3
    von Madou,MarcJ
    Veröffentlicht 2012
    Printed Book
  10. 10
    Fundamentals of microfabrication /
    von Madou, Marc J.
    Veröffentlicht 1997
    Printed Book
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