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    MEMS and microsystems: design and manufacture
    von Hsu, Tai-Ran
    Veröffentlicht 2005
    Printed Book
  2. 2
    Mems and microsystems design and manufacture /
    von Hsu, Tai-ran
    Veröffentlicht 2002
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    MEMS and Microsystems : design, Manufacture, and Nanoscale Engineering
    von Hsu, Tai-Ran
    Veröffentlicht 2008
    Printed Book
  4. 4
    MEMS and microsystems : design, manufacture, and nanoscale engineering /
    von Hsu, Tai-Ran
    Veröffentlicht 2008
    Volltext
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    Printed Book
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