Chemical vaper deposition, Thermal & plasma deposition of electronic materials

Opis bibliograficzny
1. autor: Sivaraman, S.
Format: Printed Book
Język:English
Wydane: New York Van Nostrand reinheld 1995
Hasła przedmiotowe:
Microelectronics industry > Chemical vapour deposition > Micro electronics-materials
Opis
Opis fizyczny:xii, 292p.
ISBN:0-442-01079-6

Podobne zapisy