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    MEMS and microsystems: design and manufacture
    von Hsu, Tai-Ran
    Veröffentlicht 2005
    Schlagworte: “...Microelectronics Electronics Semiconductors Microelectromechanical systems MEMS Microelectronic...”
    Printed Book
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    MEMS
    von Mahalik, Nitaigour Premchand
    Veröffentlicht 2007
    Schlagworte: “...Microelectronics Electronics Semiconductors Microelectromechanical systems MEMS Micro sensors...”
    Printed Book
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