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    MEMS and microsystems: design and manufacture
    por Hsu, Tai-Ran
    Publicado 2005
    Materias: “...Microelectronics Electronics Semiconductors Microelectromechanical systems MEMS Microelectronic...”
    Printed Book
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    MEMS
    por Mahalik, Nitaigour Premchand
    Publicado 2007
    Materias: “...Microelectronics Electronics Semiconductors Microelectromechanical systems MEMS Micro sensors...”
    Printed Book
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