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Handbook of sputter deposition technology: fundamentals and applications for functional thin films, nano-materials and MEMS
| Autor principal: | |
|---|---|
| Formato: | Printed Book |
| Publicado em: |
Elsevier
2012
|
| Edição: | 2 |
| Assuntos: |
University of Kerala
| Área/Cota: |
NA2112K8(Q2) K8 |
|---|---|
| Cód. Barras: | Informação em tempo real indisponível |