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Handbook of sputter deposition technology: fundamentals and applications for functional thin films, nano-materials and MEMS
| Auteur principal: | |
|---|---|
| Format: | Printed Book |
| Publié: |
Elsevier
2012
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| Édition: | 2 |
| Sujets: |
University of Kerala
| Cote: |
NA2112K8(Q2) K8 |
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| Exemplaire | Statut en temps réel indisponible |