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Handbook of sputter deposition technology: fundamentals and applications for functional thin films, nano-materials and MEMS
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Printed Book |
| Veröffentlicht: |
Elsevier
2012
|
| Ausgabe: | 2 |
| Schlagworte: |
University of Kerala
| Signatur: |
NA2112K8(Q2) K8 |
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| Exemplar | Live-Status nicht verfügbar |