Handbook of sputter deposition technology: fundamentals and applications for functional thin films, nano-materials and MEMS

Detalles Bibliográficos
Autor principal: Wasa, Kiyotaka; Kanno, Isaku and Kotera, Hidetoshi
Formato: Printed Book
Publicado: Elsevier 2012
Edición:2
Materias:
Cathode sputtering (Plating process),Thin films

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