Handbook of sputter deposition technology: fundamentals and applications for functional thin films, nano-materials and MEMS

Bibliografische gegevens
Hoofdauteur: Wasa, Kiyotaka; Kanno, Isaku and Kotera, Hidetoshi
Formaat: Printed Book
Gepubliceerd in: Elsevier 2012
Editie:2
Onderwerpen:
Cathode sputtering (Plating process),Thin films
Omschrijving
Fysieke beschrijving:644
ISBN:9781437734836

Gelijkaardige items