Fundamentals of microfabrication /

Bibliografiska uppgifter
Huvudupphovsman: Madou, Marc J.
Materialtyp: Printed Book
Publicerad: Boca Raton, Fla. : CRC Press, c1997.
Ämnen:
Microelectronics.
Integrated circuits
Microelectromechanical systems
Machining.
Microelectronic packaging.
Lasers

Liknande verk