Fundamentals of microfabrication /

Bibliografische gegevens
Hoofdauteur: Madou, Marc J.
Formaat: Printed Book
Gepubliceerd in: Boca Raton, Fla. : CRC Press, c1997.
Onderwerpen:
Microelectronics.
Integrated circuits
Microelectromechanical systems
Machining.
Microelectronic packaging.
Lasers

Gelijkaardige items