Fundamentals of microfabrication /

Bibliografiset tiedot
Päätekijä: Madou, Marc J.
Aineistotyyppi: Printed Book
Julkaistu: Boca Raton, Fla. : CRC Press, c1997.
Aiheet:
Microelectronics.
Integrated circuits
Microelectromechanical systems
Machining.
Microelectronic packaging.
Lasers

Samankaltaisia teoksia