Fundamentals of microfabrication /

التفاصيل البيبلوغرافية
المؤلف الرئيسي: Madou, Marc J.
التنسيق: Printed Book
منشور في: Boca Raton, Fla. : CRC Press, c1997.
الموضوعات:
Microelectronics.
Integrated circuits
Microelectromechanical systems
Machining.
Microelectronic packaging.
Lasers

مواد مشابهة