Fundamentals of microfabrication /

Dettagli Bibliografici
Autore principale: Madou, Marc J.
Natura: Printed Book
Pubblicazione: Boca Raton, Fla. : CRC Press, c1997.
Soggetti:
Microelectronics.
Integrated circuits
Microelectromechanical systems
Machining.
Microelectronic packaging.
Lasers
Sommario:
  • Lithography--dry etching techniques--wet bulk micromachining--surface micromachining--LIGA--microfabrication

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