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MEMS/MOEMS packaging : concepts, designs, materials, and processes /

Dettagli Bibliografici
Autore principale:	Gilleo, Ken
Natura:	Printed Book
Pubblicazione:	New York : McGraw-Hill, c2005.
Soggetti:	Microelectronic packaging. Microelectromechanical systems. Optoelectronic devices.
Accesso online:	http://www.loc.gov/catdir/toc/fy0606/2005049594.html http://www.loc.gov/catdir/enhancements/fy0634/2005049594-b.html http://www.loc.gov/catdir/enhancements/fy0634/2005049594-d.html http://www.loc.gov/catdir/enhancements/fy0634/2005049594-t.html

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