Optical inspection of microsystems /

Dades bibliogràfiques
Altres autors: Osten, Wolfgang
Format: Printed Book
Publicat: Boca Raton, FL : CRC/Taylor & Francis, c2007.
Col·lecció:Optical science and engineering ;
Matèries:
Microelectromechanical systems
Quality control
Optical measurements.
Industrial microscopy.
Accés en línia:http://www.loc.gov/catdir/enhancements/fy0648/2005046670-d.html
Descripció
Descripció física:503 p., [8] p. of plates : ill. (some col.) ;
Bibliografia:Includes bibliographical references and index.
ISBN:0849336821 (alk. paper)
9780849336829

Ítems similars