Sputtering materials for VLSI and thin film devices /

Detalhes bibliográficos
Autor principal: Sarkar, Jaydeep
Formato: Printed Book
Assuntos:
Microelectronics
Cathode sputtering (Plating process)
Integrated circuits
Thin film devices
Flat panel displays
Sputtering (Physics)
Descrição
Descrição Física:x, 603 pages : illustrations ;
Bibliografia:Includes bibliographical references and index.
ISBN:9780815515937
0815515936

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