Đang tải...
Fundamentals of microfabrication and nanotechnology /
"Providing a clear theoretical understanding of MEMS and NEMS, Solid-State Physics, Fluidics, and Analytical Techniques in Micro- and Nanotechnology covers all aspects of solid state physics behind nanotechnology and science. After exploring the rise of Si, MEMS, and NEMS in a historical contex...
| Tác giả chính: | |
|---|---|
| Định dạng: | Printed Book |
| Ngôn ngữ: | English |
| Được phát hành: |
Boca Raton, FL :
CRC Press,
c2012.
|
| Phiên bản: | 3rd ed. |
| Những chủ đề: | |
| Truy cập trực tuyến: | http://pda.library.cornell.edu/coutts/pod.cgi?CouttsID=cou7021486 |
Internet
http://pda.library.cornell.edu/coutts/pod.cgi?CouttsID=cou7021486University of Calicut
| Số hiệu: |
620/.5 MAR/M |
|---|---|
| Sao chép | Trạng thái trực tiếp không khả dụng |
| Sao chép | Trạng thái trực tiếp không khả dụng |
| Sao chép | Trạng thái trực tiếp không khả dụng |