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Fundamentals of microfabrication and nanotechnology /

"Providing a clear theoretical understanding of MEMS and NEMS, Solid-State Physics, Fluidics, and Analytical Techniques in Micro- and Nanotechnology covers all aspects of solid state physics behind nanotechnology and science. After exploring the rise of Si, MEMS, and NEMS in a historical contex...

Descrizione completa

Dettagli Bibliografici
Autore principale: Madou, Marc J.
Natura: Printed Book
Lingua:English
Pubblicazione: Boca Raton, FL : CRC Press, c2012.
Edizione:3rd ed.
Soggetti:
Accesso online:http://pda.library.cornell.edu/coutts/pod.cgi?CouttsID=cou7021486

Accesso online

http://pda.library.cornell.edu/coutts/pod.cgi?CouttsID=cou7021486

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Collocazione: 620/.5 MAR/M
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