Fundamentals of microfabrication and nanotechnology /

other_versions_link

"Providing a clear theoretical understanding of MEMS and NEMS, Solid-State Physics, Fluidics, and Analytical Techniques in Micro- and Nanotechnology covers all aspects of solid state physics behind nanotechnology and science. After exploring the rise of Si, MEMS, and NEMS in a historical contex...

Celý popis

Podrobná bibliografie
Hlavní autor: Madou, Marc J.
Médium: Printed Book
Jazyk:English
Vydáno: Boca Raton, FL : CRC Press, c2012.
Vydání:3rd ed.
Témata:
Microelectromechanical systems.
Nanoelectromechanical systems.
Microfluidics.
Solid state physics.
On-line přístup:http://pda.library.cornell.edu/coutts/pod.cgi?CouttsID=cou7021486

Internet

http://pda.library.cornell.edu/coutts/pod.cgi?CouttsID=cou7021486

University of Calicut

Informace o exemplářích z: University of Calicut
Signatura: 620/.5 MAR/M
Jednotka Neznámá aktuální dostupnost
Jednotka Neznámá aktuální dostupnost
Jednotka Neznámá aktuální dostupnost

Podobné jednotky