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Microlothography: science and technology

Detalhes bibliográficos
Main Authors:	Sheats, James R; Editor, Smith, Bruce W; Editor
Formato:	Printed Book
Publicado em:	New York, Marcel Dekker, Inc 1998
Assuntos:	Integrated circuits-Masks Manufacturing processes Metal oxide semiconductors, Complementary-Design and construction Microlithography

Detalhes do Exemplar MG University
Área/Cota:	621.381 531 N8
Cód. Barras:	Informação em tempo real indisponível

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