Microlothography: science and technology

Opis bibliograficzny
Główni autorzy: Sheats, James R; Editor, Smith, Bruce W; Editor
Format: Printed Book
Wydane: New York, Marcel Dekker, Inc 1998
Hasła przedmiotowe:
Integrated circuits-Masks
Manufacturing processes
Metal oxide semiconductors, Complementary-Design and construction
Microlithography
Opis
Deskrypcja:ed by James R Sheats and Bruce W Smith
Includes bibliographial references and index
ISBN:978-0-8247-9953-4

Podobne zapisy