Sheats, J. R. E., & Smith, B. W. E. (1998). Microlothography: Science and technology.
Styl ChicagoSheats, James R; Editor, a Bruce W; Editor Smith. Microlothography: Science and Technology. New York, Marcel Dekker, Inc, 1998.
Citace podle MLASheats, James R; Editor, a Bruce W; Editor Smith. Microlothography: Science and Technology. 1998.
Upozornění: Tyto citace jsou generovány automaticky. Nemusí být zcela správně podle citačních pravidel..