Sheats, J. R. E., & Smith, B. W. E. (1998). Microlothography: Science and technology.
Citação norma ChicagoSheats, James R; Editor, e Bruce W; Editor Smith. Microlothography: Science and Technology. New York, Marcel Dekker, Inc, 1998.
Citação norma MLASheats, James R; Editor, e Bruce W; Editor Smith. Microlothography: Science and Technology. 1998.
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