Plasma electronics applications in microelectronic device fabrication

Chi tiết về thư mục
Tác giả chính: Makabe, Toshiaki
Tác giả khác: Petrovic, Zoran Lj; ed. by
Định dạng: Printed Book
Ngôn ngữ:English
Được phát hành: New York CRC Press 2015
Phiên bản:2nd ed.
Những chủ đề:
Plasma engineering
Low temperature plasma
Plasma processing

UL

Chi tiết quỹ từ UL
Số hiệu: 533.922 MAK
Sao chép Trạng thái trực tiếp không khả dụng

Những quyển sách tương tự