Ładuje się......

Plasma electronics applications in microelectronic device fabrication

Opis bibliograficzny
1. autor: Makabe, Toshiaki
Kolejni autorzy: Petrovic, Zoran Lj; ed. by
Format: Printed Book
Język:English
Wydane: New York CRC Press 2015
Wydanie:2nd ed.
Hasła przedmiotowe:

UL

Szczegóły zapisu UL
Sygnatura: 533.922 MAK
Egzemplarz Możliwość dostępu nieznana