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Plasma electronics applications in microelectronic device fabrication
| Auteur principal: | |
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| Autres auteurs: | |
| Format: | Printed Book |
| Langue: | English |
| Publié: |
New York
CRC Press
2015
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| Édition: | 2nd ed. |
| Sujets: |
UL
| Cote: |
533.922 MAK |
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| Exemplaire | Statut en temps réel indisponible |