Plasma electronics applications in microelectronic device fabrication

Detalles Bibliográficos
Autor principal: Makabe, Toshiaki
Otros Autores: Petrovic, Zoran Lj; ed. by
Formato: Printed Book
Lenguaje:English
Publicado: New York CRC Press 2015
Edición:2nd ed.
Materias:
Plasma engineering
Low temperature plasma
Plasma processing

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Detalle de Existencias desde UL
Número de Clasificación: 533.922 MAK
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