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Plasma electronics applications in microelectronic device fabrication

Dettagli Bibliografici
Autore principale:	Makabe, Toshiaki
Altri autori:	Petrovic, Zoran Lj; ed. by
Natura:	Printed Book
Lingua:	English
Pubblicazione:	New York CRC Press 2015
Edizione:	2nd ed.
Soggetti:	Plasma engineering Low temperature plasma Plasma processing

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