Llwytho...

Côd QR

Plasma electronics applications in microelectronic device fabrication

Manylion Llyfryddiaeth
Prif Awdur:	Makabe, Toshiaki
Awduron Eraill:	Petrovic, Zoran Lj; ed. by
Fformat:	Printed Book
Iaith:	English
Cyhoeddwyd:	New York CRC Press 2015
Rhifyn:	2nd ed.
Pynciau:	Plasma engineering Low temperature plasma Plasma processing

Eitemau Tebyg

Cold plasma in materials fabrication: from fundamentals to applications /
gan: Grill, Alfred
Cyhoeddwyd: (1994)

Plasma electronics. ed.2 :applications in microelectronic device fabrication
gan: Makabe, T.
Cyhoeddwyd: (2015)

Physics of radio-frequency plasmas /
gan: Chabert, Pascal
Cyhoeddwyd: (2011)

Physics of radio-frequency plasmas /
gan: Chabert, Pascal
Cyhoeddwyd: (2011)

Biomimetic architectures by plasma processing: fabrication and applications/
Cyhoeddwyd: (2015)

Plasma-Aided nanofabrication:from plasma sources to nanoassembly
gan: Ostrikov, Kostya(Ken)
Cyhoeddwyd: (2007)

Modeling magnetospheric plasma
gan: Moore, T E
Cyhoeddwyd: (1988)

Plasma physics
gan: Maheshwari, K P, et al.
Cyhoeddwyd: (1992)

Plasma physics
gan: Kamal, Raj
Cyhoeddwyd: (1992)

Plasmas : the first state of matter /
gan: Vinod Krishan
Cyhoeddwyd: (2014)

Plasmas:the first state of matter
gan: Krishan, Vinod
Cyhoeddwyd: (2013)

PLASMA- PAREEKSHANA SALAYILUM PRAPANCHATILUM
gan: BOLEY FORREST I
Cyhoeddwyd: (1974)

Physics of non-ideal plasma
gan: Fortov, Vladimir E
Cyhoeddwyd: (1999)

Physics of the hot plasma in the magnetosphere
gan: Hultqvist, Bengt, Ed.; Stenflo, Lennart, Ed
Cyhoeddwyd: (1975)

Fusion plasma physics
gan: Stacey, Weston M.
Cyhoeddwyd: (2005)

International Conference on Plasma Physics Proceedings A Variety of Plasmas
gan: Sen, A
Cyhoeddwyd: (1991)

Plasma engineering: applications from aerospace to bio- and nanotechnology
gan: Keidar, Michael and Beilis, Isak I
Cyhoeddwyd: (2013)

Fundamentals of plasma physics
gan: Bittencourt, J. A.
Cyhoeddwyd: (2004)

Low temperature plasma physics: fundamental aspects and applicaions
gan: Hippler, Rainer
Cyhoeddwyd: (2001)

Instabilities in space and laboratory plasmas
gan: Melrose, D B
Cyhoeddwyd: (1986)

Radiative properties of hot dense matter
gan: Davis, Jack, Ed., et al
Cyhoeddwyd: (1983)

Advances in low-temperature plasma chemistry, technology applications
gan: Boenig, Herman, V.
Cyhoeddwyd: (1984)

Plasma technology
gan: Gross, B, et al
Cyhoeddwyd: (1968)

Plasma spectroscopy : influence of microwave and laser fields
gan: Oks, E.
Cyhoeddwyd: (1995)

Plasma kinetic theory
gan: Swanson, D.G
Cyhoeddwyd: (2008)

Principles of plasma mechanics/
gan: Chakraborty, Bishwanath
Cyhoeddwyd: (1978)

Plasma processes for semiconductor fabrication
gan: Hitchon, W. Nicholas G.
Cyhoeddwyd: (1999)

Plasma physics: confinement transport and collective effects
gan: Dinklage, A. [eds.]
Cyhoeddwyd: (2005)

High temperature plasmas Theory and mathematical tools for laser and fusion plasmas /
gan: Spatschek, Karl-heinz
Cyhoeddwyd: (2011)

Plasma antennas
gan: Anderson, Theordore
Cyhoeddwyd: (2011)

Plasma physics
Cyhoeddwyd: (1992)

Plasma dynamics /
gan: Dendy, R. O.
Cyhoeddwyd: (1990)

Plasmas : laboratory and cosmie, eng /
gan: Boley, Forrest I.
Cyhoeddwyd: (1970)

Plasma astrophysics
gan: Shibata, Kazunari; Author, et al.
Cyhoeddwyd: (1997)

Waves in plasmas
gan: Stix, Thomas Howard; Author
Cyhoeddwyd: (1992)

Plasma astrophysics
gan: Tajima, Toshiki; Shibata, Kazunari
Cyhoeddwyd: (2002)

Plasma turbulence
gan: Kadomtsev, B B
Cyhoeddwyd: (1965)

Plasma waves
gan: Denisse, J F; Delcroix, J L
Cyhoeddwyd: (1963)

Plasma physics
Cyhoeddwyd: (1992)

Physics of strongly coupled plasma
gan: Fortov, V E; Author, et al.
Cyhoeddwyd: (2006)