Plasma electronics applications in microelectronic device fabrication

Dettagli Bibliografici
Autore principale: Makabe, Toshiaki
Altri autori: Petrovic, Zoran Lj; ed. by
Natura: Printed Book
Lingua:English
Pubblicazione: New York CRC Press 2015
Edizione:2nd ed.
Soggetti:
Plasma engineering
Low temperature plasma
Plasma processing

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Collocazione: 533.922 MAK
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