Plasma electronics applications in microelectronic device fabrication

Dades bibliogràfiques
Autor principal: Makabe, Toshiaki
Altres autors: Petrovic, Zoran Lj; ed. by
Format: Printed Book
Idioma:English
Publicat: New York CRC Press 2015
Edició:2nd ed.
Matèries:
Plasma engineering
Low temperature plasma
Plasma processing

UL

Detall dels fons de UL
Signatura: 533.922 MAK
Còpia Comprovació en temps real no disponible

Ítems similars