Plasma electronics applications in microelectronic device fabrication

التفاصيل البيبلوغرافية
المؤلف الرئيسي: Makabe, Toshiaki
مؤلفون آخرون: Petrovic, Zoran Lj; ed. by
التنسيق: Printed Book
اللغة:English
منشور في: New York CRC Press 2015
الطبعة:2nd ed.
الموضوعات:
Plasma engineering
Low temperature plasma
Plasma processing

UL

تفاصيل المقتنيات من UL
رقم الطلب: 533.922 MAK
النسخة الحالة المباشرة غير متاحة

مواد مشابهة