Plasma electronics applications in microelectronic device fabrication

Bibliografische gegevens
Hoofdauteur: Makabe, Toshiaki
Andere auteurs: Petrovic, Zoran Lj; ed. by
Formaat: Printed Book
Taal:English
Gepubliceerd in: New York CRC Press 2015
Editie:2nd ed.
Onderwerpen:
Plasma engineering
Low temperature plasma
Plasma processing

UL

Exemplaargegevens van UL
Plaatsingsnummer: 533.922 MAK
Kopie Status is onbeschikbaar

Gelijkaardige items