Plasma electronics applications in microelectronic device fabrication

Chi tiết về thư mục
Tác giả chính: Makabe, Toshiaki
Tác giả khác: Petrovic, Zoran Lj; ed. by
Định dạng: Printed Book
Ngôn ngữ:English
Được phát hành: New York CRC Press 2015
Phiên bản:2nd ed.
Những chủ đề:
Plasma engineering
Low temperature plasma
Plasma processing
Miêu tả
Mô tả vật lý:xxxv, 376p.
số ISBN:9781482222050

Những quyển sách tương tự