Plasma electronics applications in microelectronic device fabrication

Detaylı Bibliyografya
Yazar: Makabe, Toshiaki
Diğer Yazarlar: Petrovic, Zoran Lj; ed. by
Materyal Türü: Printed Book
Dil:English
Baskı/Yayın Bilgisi: New York CRC Press 2015
Edisyon:2nd ed.
Konular:
Plasma engineering
Low temperature plasma
Plasma processing
Diğer Bilgiler
Fiziksel Özellikler:xxxv, 376p.
ISBN:9781482222050

Benzer Materyaller