Plasma electronics applications in microelectronic device fabrication

Bibliografiska uppgifter
Huvudupphovsman: Makabe, Toshiaki
Övriga upphovsmän: Petrovic, Zoran Lj; ed. by
Materialtyp: Printed Book
Språk:English
Publicerad: New York CRC Press 2015
Upplaga:2nd ed.
Ämnen:
Plasma engineering
Low temperature plasma
Plasma processing
Beskrivning
Fysisk beskrivning:xxxv, 376p.
ISBN:9781482222050

Liknande verk