Plasma electronics applications in microelectronic device fabrication

Библиографические подробности
Главный автор: Makabe, Toshiaki
Другие авторы: Petrovic, Zoran Lj; ed. by
Формат: Printed Book
Язык:English
Опубликовано: New York CRC Press 2015
Редактирование:2nd ed.
Предметы:
Plasma engineering
Low temperature plasma
Plasma processing
Описание
Объем:xxxv, 376p.
ISBN:9781482222050

Схожие документы