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Plasma electronics applications in microelectronic device fabrication
| Autor principal: | |
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| Outros Autores: | |
| Formato: | Printed Book |
| Idioma: | English |
| Publicado em: |
New York
CRC Press
2015
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| Edição: | 2nd ed. |
| Assuntos: |
| Descrição Física: | xxxv, 376p. |
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| ISBN: | 9781482222050 |