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Plasma electronics applications in microelectronic device fabrication

Detalhes bibliográficos
Autor principal: Makabe, Toshiaki
Outros Autores: Petrovic, Zoran Lj; ed. by
Formato: Printed Book
Idioma:English
Publicado em: New York CRC Press 2015
Edição:2nd ed.
Assuntos:
Descrição
Descrição Física:xxxv, 376p.
ISBN:9781482222050