Ładuje się......
Plasma electronics applications in microelectronic device fabrication
| 1. autor: | |
|---|---|
| Kolejni autorzy: | |
| Format: | Printed Book |
| Język: | English |
| Wydane: |
New York
CRC Press
2015
|
| Wydanie: | 2nd ed. |
| Hasła przedmiotowe: |
| Opis fizyczny: | xxxv, 376p. |
|---|---|
| ISBN: | 9781482222050 |