Plasma electronics applications in microelectronic device fabrication

Bibliografische gegevens
Hoofdauteur: Makabe, Toshiaki
Andere auteurs: Petrovic, Zoran Lj; ed. by
Formaat: Printed Book
Taal:English
Gepubliceerd in: New York CRC Press 2015
Editie:2nd ed.
Onderwerpen:
Plasma engineering
Low temperature plasma
Plasma processing
Omschrijving
Fysieke beschrijving:xxxv, 376p.
ISBN:9781482222050

Gelijkaardige items