Plasma electronics applications in microelectronic device fabrication

Dettagli Bibliografici
Autore principale: Makabe, Toshiaki
Altri autori: Petrovic, Zoran Lj; ed. by
Natura: Printed Book
Lingua:English
Pubblicazione: New York CRC Press 2015
Edizione:2nd ed.
Soggetti:
Plasma engineering
Low temperature plasma
Plasma processing
Descrizione
Descrizione fisica:xxxv, 376p.
ISBN:9781482222050

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