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Plasma electronics applications in microelectronic device fabrication
| मुख्य लेखक: | |
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| अन्य लेखक: | |
| स्वरूप: | Printed Book |
| भाषा: | English |
| प्रकाशित: |
New York
CRC Press
2015
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| संस्करण: | 2nd ed. |
| विषय: |
| भौतिक वर्णन: | xxxv, 376p. |
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| आईएसबीएन: | 9781482222050 |