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Plasma electronics applications in microelectronic device fabrication

ग्रंथसूची विवरण
मुख्य लेखक: Makabe, Toshiaki
अन्य लेखक: Petrovic, Zoran Lj; ed. by
स्वरूप: Printed Book
भाषा:English
प्रकाशित: New York CRC Press 2015
संस्करण:2nd ed.
विषय:
विवरण
भौतिक वर्णन:xxxv, 376p.
आईएसबीएन:9781482222050