Plasma electronics applications in microelectronic device fabrication

Bibliografiset tiedot
Päätekijä: Makabe, Toshiaki
Muut tekijät: Petrovic, Zoran Lj; ed. by
Aineistotyyppi: Printed Book
Kieli:English
Julkaistu: New York CRC Press 2015
Painos:2nd ed.
Aiheet:
Plasma engineering
Low temperature plasma
Plasma processing
Kuvaus
Ulkoasu:xxxv, 376p.
ISBN:9781482222050

Samankaltaisia teoksia