Plasma electronics applications in microelectronic device fabrication

Xehetasun bibliografikoak
Egile nagusia: Makabe, Toshiaki
Beste egile batzuk: Petrovic, Zoran Lj; ed. by
Formatua: Printed Book
Hizkuntza:English
Argitaratua: New York CRC Press 2015
Edizioa:2nd ed.
Gaiak:
Plasma engineering
Low temperature plasma
Plasma processing
Deskribapena
Deskribapen fisikoa:xxxv, 376p.
ISBN:9781482222050

Antzeko izenburuak