Plasma electronics applications in microelectronic device fabrication

Detalles Bibliográficos
Autor principal: Makabe, Toshiaki
Otros Autores: Petrovic, Zoran Lj; ed. by
Formato: Printed Book
Lenguaje:English
Publicado: New York CRC Press 2015
Edición:2nd ed.
Materias:
Plasma engineering
Low temperature plasma
Plasma processing
Descripción
Descripción Física:xxxv, 376p.
ISBN:9781482222050

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