Φορτώνει......
Plasma electronics applications in microelectronic device fabrication
| Κύριος συγγραφέας: | |
|---|---|
| Άλλοι συγγραφείς: | |
| Μορφή: | Printed Book |
| Γλώσσα: | English |
| Έκδοση: |
New York
CRC Press
2015
|
| Έκδοση: | 2nd ed. |
| Θέματα: |
| Φυσική περιγραφή: | xxxv, 376p. |
|---|---|
| ISBN: | 9781482222050 |