Plasma electronics applications in microelectronic device fabrication

Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Makabe, Toshiaki
Weitere Verfasser: Petrovic, Zoran Lj; ed. by
Format: Printed Book
Sprache:English
Veröffentlicht: New York CRC Press 2015
Ausgabe:2nd ed.
Schlagworte:
Plasma engineering
Low temperature plasma
Plasma processing
Beschreibung
Beschreibung:xxxv, 376p.
ISBN:9781482222050

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