Loading...
Plasma electronics applications in microelectronic device fabrication
| Hovedforfatter: | |
|---|---|
| Andre forfattere: | |
| Format: | Printed Book |
| Sprog: | English |
| Udgivet: |
New York
CRC Press
2015
|
| Udgivelse: | 2nd ed. |
| Fag: |
| Fysisk beskrivelse: | xxxv, 376p. |
|---|---|
| ISBN: | 9781482222050 |